上海半導體裝備制造公司轉讓項目，項目公司是中國少數幾家具有世界領(lǐng)先技術(shù)及工藝的半導體裝備制造商之一，擁有先進(jìn)的獨家技術(shù)晶圓無(wú)應力拋光技術(shù)、相關(guān)專(zhuān)利158項，專(zhuān)利獲中國、美國、日本、新加坡等多國授權。上海半導體裝備制造公司轉讓?zhuān)D讓底價(jià)9565.56萬(wàn)元。

　　一、項目公司基本情況

　　半導體裝備制造公司轉讓項目，項目公司盛美半導體設備(上海)有限公司成立于2005年5月17日，注冊資本21312.495萬(wàn)元。經(jīng)營(yíng)范圍設計、生產(chǎn)、加工電子專(zhuān)用設備及其零部件，銷(xiāo)售公司自產(chǎn)產(chǎn)品，并提供售后技術(shù)服務(wù)和咨詢(xún)服務(wù)。

　　上海半導體裝備制造公司轉讓項目，項目公司擁有全資子公司盛美半導體設備(無(wú)錫)有限公司，成立于2011年7月14日，注冊資本500萬(wàn)元。

　　上海創(chuàng )業(yè)投資有限公司所持盛美半導體體設備(上海)有限公司18.77%的股權，已于2017年6月29日完成轉讓交割，受讓方為美國ACM Research Inc.。目前正在辦理工商變更手續。

　　二、項目公司產(chǎn)品

　　(一)清洗設備

　　擁有有自主知識產(chǎn)權的兆聲波單片清洗設備。它主要有三部分組成：機械前端模塊，包括機械手、loadport等;液體供應模塊，包括液體供給流量控制系統等;以及工藝加工模塊，包括清洗腔以及兆聲波能量發(fā)生器。具有極高的顆粒去除效率，并且可以控制硅片表面的能量密度均勻的分布以去除“hot spots”，達到對器件的無(wú)損傷清洗。同時(shí)，所有的化學(xué)清洗液均可單獨回收循環(huán)利用。主要應用于：集成電路工藝相關(guān)濕法清洗，濕法蝕刻工藝， 晶圓制造拋光后，外延前后清洗，先進(jìn)封裝領(lǐng)域(TSV)深孔清洗，濕法蝕刻，濕法去膠等。

　　(二)晶圓級封裝系統

　　包含涂層系統、開(kāi)發(fā)系統、電鍍系統等，該系統采用先進(jìn)的組件模塊等高精度硅片傳輸系統，優(yōu)秀的風(fēng)機過(guò)濾器和排氣裝置，以及各室的過(guò)程獨立于環(huán)境的控制。這些模塊被設計為易于使用而提供所需的涂層厚度和均勻性。容易定制軟件還使得工具很容易地集成到生產(chǎn)線(xiàn)。所有的計算機系統都裝有化學(xué)循環(huán)和過(guò)濾系統服務(wù)重用的化學(xué)品，減少浪費和降低用戶(hù)的成本。

　　(三)無(wú)應力拋光集成設備

　　該設備能夠對65nm及以下的銅互聯(lián)結構進(jìn)行無(wú)應力、無(wú)損傷拋光。該設備整合了無(wú)應力拋光技術(shù)(SFP)、熱氣相蝕刻技術(shù) (TFE)以及低下壓力化學(xué)機械平坦化技術(shù)(ULDCMP)，利用其各自獨特的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)，確保在整個(gè)拋光過(guò)程中對銅互連結構無(wú)任何損傷?；谥悄軖伖庀到y，該系統整合了晶圓運動(dòng)控制、智能拋光電源和拋光液供應系統，因為只有拋光液與銅互聯(lián)結構表面接觸，無(wú)應力拋光工藝能夠控制全局銅膜膜厚和凹陷，不產(chǎn)生侵蝕以及介質(zhì)層與阻擋層也不會(huì )產(chǎn)生形變。最終消除由機械應力對銅/超低k介質(zhì)產(chǎn)生的損傷，有效解決銅/超低k介質(zhì)互聯(lián)的整合問(wèn)題。

　　上海半導體裝備制造公司轉讓項目，項目公司將重點(diǎn)發(fā)展先進(jìn)封裝領(lǐng)域相關(guān)濕法設備，清洗設備，濕法去膠設備，濕法蝕刻設備，涂膠設備，顯影設備等產(chǎn)品。

　　三、項目公司投資價(jià)值分析

　　(一)技術(shù)優(yōu)勢

　　上海半導體裝備制造公司轉讓項目，項目公司盛美公司通過(guò)技術(shù)革新獨創(chuàng )的晶圓無(wú)應力拋光技術(shù)，目前在全世界無(wú)直接競爭對手，連應用材料公司等世界前三大半導體設備商和IBM和Intel等公司都未能掌握。盛美自主研發(fā)的鍍銅設備、單片晶圓清洗設備也都達到了國際一流水平，并已進(jìn)入樣機銷(xiāo)售階段。擁有相關(guān)專(zhuān)利158項。

　　(二)市場(chǎng)前景

　　從全球半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢來(lái)看，中國市場(chǎng)的地位正在崛起，未來(lái)一半以上集成電路市場(chǎng)在中國。而國家近年來(lái)對于半導體產(chǎn)業(yè)的大力推動(dòng)，也讓本土半導體企業(yè)看到了機會(huì )所在。

　　(三)客戶(hù)眾多

　　上海半導體裝備制造公司轉讓項目，項目公司客戶(hù)有SK海力士、上海晶盟硅材料、臺灣合晶集團、上海華虹 NEC 電子有限公司、中科院微電子所等。

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圖片來(lái)源：找項目網(wǎng)